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土肥 俊郎 and 瀬下 清 and 山崎 努 and 大坪 正徳 and 西澤 秀明 and 村上 幸 and 市川 大造 and 中村 由夫 and 宮下 忠一 and 川村 佳秀 and 高木 正孝 and 柏田 太志 and 曾田 英雄,革新的概念に基づく超高効率加工技術の構築（ダイラタンシー・パッド工具と液中加工システムによるSiC基板の効果的加工プロセスの確立）,日本機械学会論文集,2187-9761,一般社団法人 日本機械学会,2015,81,824,14-00618,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205515678080,https://doi.org/10.1299/transjsme.14-00618