著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 宮地 淳,酸化チタン添加アルミナセラミックス製静電チャック,日本セラミックス協会 年会・秋季シンポジウム 講演予稿集,,公益社団法人 日本セラミックス協会,2004,2004F,0,87-87,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205612367488,https://doi.org/10.14853/pcersj.2004f.0.87.0