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西野 純一 and 大塩 茂夫 and 齋藤 秀俊,近接気化型CVD法による酸化スカンジウム膜の合成,日本セラミックス協会 年会・秋季シンポジウム 講演予稿集,,公益社団法人 日本セラミックス協会,2007,2007S,0,550-550,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205615857024,https://doi.org/10.14853/pcersj.2007s.0.550.0