酸化物イオン伝導体を利用した無機固体材料の表面加工

書誌事項

タイトル別名
  • Solid-State Electrochemical Machining of Inorganic Materials using Oxide Ion Conductor

説明

本研究室ではイオン伝導体の新規な利用法の開拓を目指し、イオン伝導体と無機固体材料の微小界面における固体電気化学反応を利用した表面加工技術を提案してきた。これまで、金属イオン伝導体を用いた金属表面の微細加工を実現している。また、酸化物イオン伝導体を利用して酸化反応によって消失する炭素含有セラミックス(Glassy Carbon, SiC)の微細加工を実証した。一方、タングステンやモリブデンなどの高融点金属材料は酸化反応により昇華性の酸化物を生成することが知られている。これらの金属に対して、高温・低酸素分圧下で局所的な酸化反応を行えば生成した酸化物の昇華により表面に凹凸を形成すると予想される。よって、本研究では酸化物イオン伝導体を利用した高融点金属表面の微細加工の可能性を検討した。

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001205617824256
  • NII論文ID
    130006975989
  • DOI
    10.14853/pcersj.2008s.0.3f18.0
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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