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大野 智也 and 松田 剛 and 脇谷 尚樹 and 鈴木 久男 and マリッチ バーバラ and コセック マリア,バッファー層構造の設計によるPZT薄膜の残留応力への影響,日本セラミックス協会 年会・秋季シンポジウム 講演予稿集,,公益社団法人 日本セラミックス協会,2008,2008F,0,744-744,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205619022336,https://doi.org/10.14853/pcersj.2008f.0.744.0