著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
長谷川 洋平 and 金子 修 and 松本 和之 and 藤井 隆雄 and 藤井 修逸 and 今井 光祐,半導体プラズマチャンバー用インピーダンスマッチングシステムの非線形同定,システム制御情報学会 研究発表講演会講演論文集,,一般社団法人 システム制御情報学会,2006,SCI06,0,151-151,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205623323008,https://doi.org/10.11509/sci.sci06.0.151.0