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栗本 裕史 and 小松 直佳 and 木村 千春 and 青木 秀充 and 杉野 隆,AlSiO薄膜を用いたSiC MIS構造の検討,表面科学講演大会講演要旨集,,公益社団法人 日本表面科学会,2006,26,0,78-78,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205645884032,https://doi.org/10.14886/sssj.26.0.78.0