著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
峠 睦 and 渡邉 純二 and 坂本 英俊 and 万 化 and 村上 泰造,弾性プレートを用いたガラスディスク基板の高能率ポリシング,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2002,2002A,0,160-160,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205647809280,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2002a.0.160.0