著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
佐藤 隆之介 and 市田 良夫 and 森本 喜隆 and 輿水 智,ピラミッド構造研磨パッドの研磨特性に関する研究,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2004,2004S,0,76-76,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205648458112,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2004s.0.76.0