著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
中田 秀人 and 浜元 伸二 and 横山 健三 and 土肥 俊郎 and 吉岡 謙 and 藤井 寿,新規酸化セリウム系CMP用スラリーの開発,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2003,2003S,0,307-307,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205648949376,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2003s.0.307.0