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袴田 恵世 and 新野 俊樹,テレスコピック型スムーズインパクト駆動機構を利用した超高真空対応試料導入位置決め機構の検討,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2003,2003A,0,770-770,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205650139392,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2003a.0.770.0