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水本 洋 and 薮田 義人 and 有井 士郎 and 田添 洋一 and 横内 繁,高速・精密エアースピンドルのための能動動圧軸受の開発,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2009,2009A,0,77-78,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205651169792,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2009a.0.77.0