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畝田 道雄 and 岡部 憲嗣 and 守屋 紀彦 and 小林 拓実 and 澁谷 和孝 and 石川 憲一,ポリシングにおけるドレス条件がパッド表面性状に及ぼす影響に関する研究,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2009,2009A,0,319-320,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205651474944,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2009a.0.319.0