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後藤 隆司 and 渡辺 健志 and 小日向 工 and 神 雅彦 and 村川 正夫,小型流体動圧軸受の製作法に関する研究,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2006,2006A,0,815-816,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205651600128,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2006a.0.815.0