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村田 順二 and 久保田 章亀 and 八木 圭太 and 佐野 泰久 and 原 英之 and 有馬 健太 and 三村 秀和 and 山内 和人,触媒基準エッチング法によるGaNの加工,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2006,2006A,0,533-534,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205652120320,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2006a.0.533.0