著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 鎌田 紘介 and 清水 浩貴 and 田丸 雄摩,姿勢補正機能をもつボールねじ式位置決めステージ,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2009,2009S,0,947-948,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205652384384,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2009s.0.947.0