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海野 徳幸 and 静野 観椰子 and 谷口 淳 and 石川 清,無機レジストを用いた電子ビームリソグラフィにおけるＰＥＢの効果と近接効果の評価,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2008,2008S,0,831-832,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205652756608,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2008s.0.831.0