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桑原 一樹 and 澤内 佑介 and 高橋 哲 and 高増 潔,半導体の線幅標準に関する研究（第4報）,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2008,2008A,0,247-248,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205652770688,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2008a.0.247.0