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石川 正純 and 石丸 伊知郎 and 石井 知彦 and 井上 祐介 and 奥田 貴啓 and 藤井 義樹,高フォトンレーザアブレーションによる理論空間解像度を超えた微細加工技術,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2005,2005S,0,97-97,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205652821888,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2005s.0.97.0