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尹 成圓 and 高橋 正春 and 後藤 博史 and 前田 龍太郎,FIB加工によるGC型の製作とホットエンボス成形によるガラス基盤への応用,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2006,2006S,0,735-736,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205653673472,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2006s.0.735.0