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大塚 二郎 and 金 弘中 and 柴田 均 and 増田 郁朗 and 齋藤 馨 and 川津 和司 and 北川 剛弘,新型リニアモータ・トンネルアクチュエータとリニアボールガイドを組合せた高速ナノ位置決め装置,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2007,2007S,0,711-712,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205653731456,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2007s.0.711.0