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峠 睦 and 久保田 章亀 and 阿南 悟 and 和田 翔吾 and 中西 義孝,石英定盤を活用した単結晶ダイヤモンド基板の精密研磨技術,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2010,2010S,0,295-296,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205653961728,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2010s.0.295.0