マイクロマシン/MEMSの開発(キーノートスピーチ)
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- Honda Satoshi
- 首都大東京
Description
本報では,マイクロマシン/MEMSについて,開発の歴史を概観し,開発されたマイクロマシンを,通常の大きさの機械の定義であるルーローの定義に当てはめ,その差違を検討した.また,マイクロマシンの定義の変遷を考察し,通常の機械を設計製作する上で共通の部品となる機械要素,機構,組立/加工工具について,これに対応するマイクロ機械要素・機構・工具の開発状況を検討し,今後のマイクロマシンの開発を方向を考察した.
Journal
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- Proceedings of JSPE Semestrial Meeting
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Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2012S (0), 683-684, 2012
The Japan Society for Precision Engineering
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205654158720
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- NII Article ID
- 130005031381
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- CiNii Articles
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- Abstract License Flag
- Disallowed