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丹藤 匠 and 横川 賢悦 and 伊澤 勝 and 根岸 伸幸,ウエハ温度制御による高精度深孔エッチングの検討,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2010,2010S,0,1135-1136,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205654471296,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2010s.0.1135.0