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廣瀬 智博 and 上 芳啓 and 薮谷 誠,超精密加工機用機上計測装置の高精度化,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2013,2013A,0,29-30,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205654751744,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2013a.0.29.0