著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
橋本 洋平 and 近藤 亮太 and 古本 達明 and 小谷野 智広 and 細川 晃,両面研磨におけるウェハ挙動の解析技術の開発,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2016,2016S,0,375-376,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205654886400,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016s.0_375