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牧山 真也 and 山村 和也,マイクロ波プラズマジェットを用いた単結晶ダイヤモンド基板の数値制御平坦化,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2013,2013S,0,211-212,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205654909056,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2013s.0.211.0