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浅野 博弥 and 定國 峻 and 佐野 泰久 and 八木 圭太 and 村田 順二 and 岡本 武志 and 橘 一真 and 山内 和人,バイアス電圧印加を併用した光電気化学反応によるGaN基板の高能率平坦加工,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2011,2011A,0,181-182,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205655567872,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011a.0.181.0