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定國 峻 and 村田 順二 and 佐野 泰久 and 八木 圭太 and 岡本 武志 and 橘 一真 and 浅野 博弥 and 山内 和人,多段階の化学的平坦化手法を用いたGaN単結晶基板の高能率・超平坦化加工,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2011,2011A,0,179-180,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205655572224,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011a.0.179.0