著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
山崎 努 and 土肥 俊郎 and 瀬下 清 and 大坪 正徳 and 塚本 敬一 and 紀 文勇 and 若林 豊博 and 住澤 春男,グリーンデバイス用結晶基板の加工プロセス技術の研究開発 第2報,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2013,2013S,0,633-634,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205655863424,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2013s.0.633.0