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小辻 利幸 and 太田 稔 and 江頭 快 and 山口 桂司,SiCの臨界切込み深さに及ぼす結晶方位及びUV照射の影響,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2016,2016S,0,925-926,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205656143232,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016s.0_925