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佐藤 拓 and 堀尾 健一郎 and 金子 順一 and 山崎 次男,スケルトン両面研磨機における試料挙動の解明,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2012,2012S,0,309-310,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205656311680,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012s.0.309.0