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大坪 正徳 and 瀬下 清 and 山崎 努 and 西澤 秀明 and 村上 幸 and 宮下 忠一 and 高木 正孝 and 土肥 俊郎,グリーンデバイス用結晶基板の加工プロセス技術の研究開発（第7報）,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2015,2015S,0,535-536,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205657578752,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2015s.0_535