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大山 幸希 and 土肥 俊郎 and 佐野 泰久 and 黒河 周平 and 會田 英雄 and 塩澤 昂祐 and 宮下 忠一 and 金 聖祐,革新的CMP/P-CVM融合加工装置の設計・試作（第5報）,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2014,2014A,0,17-18,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205657752960,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2014a.0_17