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塩澤 昂祐 and 佐野 泰久 and 土肥 俊郎 and 黒河 周平 and 會田 英雄 and 宮下 忠一 and 住澤 春男 and 山内 和人,革新的CMP/P-CVM融合装置の設計・試作（第4報）,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2014,2014A,0,15-16,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205657773312,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2014a.0_15