著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 森岡 祐貴 and 平野 嵩 and 大坂 泰斗 and 佐野 泰久 and 松山 智至 and 片山 哲夫 and 矢橋 牧名 and 山内 和人,大気圧プラズマを用いた狭ギャップチャネルカット結晶X線モノクロメータの無歪み内壁エッチング法の開発,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2017,2017A,0,847-848,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205658099584,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017a.0_847