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穂苅 遼平 and 栗原 一真 and 高田 尚樹 and 廣島 洋,微細溝内に形成された高アスペクト比印刷パターンの電気特性評価,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2017,2017S,0,837-838,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205658118272,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017s.0_837