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畝田 道雄 and 高橋 佳宏 and 澁谷 和孝 and 中村 由夫 and 市川 大造 and 石川 憲一,CMPにおける研磨装置の挙動解析と研磨特性との関係,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2014,2014S,0,295-296,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205658960640,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2014s.0_295