Study on Laser Surface Processing with sub-picosecond Excitation by using Femtosecond Double Pulse Beam(5<sup>th</sup> report)

DOI

Bibliographic Information

Other Title
  • フェムト秒レーザを用いたダブルパルスビームによる励起状態面の表面加工に関する研究（第五報）
  • 光表面励起効果の検討
  • Investigation of surface photo excitation effect
Published
2017
DOI
  • 10.11522/pscjspe.2017s.0_417
Publisher
The Japan Society for Precision Engineering

Description

筆者らはパワー半導体基板の高効率・高精度加工技術の確立を目的として，フェムト秒レーザを利用したダブルパルスビーム照射による光励起加工を提案している．本研究では，近赤外光の超短パルスレーザによる光表面励起加工により，パワー半導体表面の微細加工，高効率化工を実現することを目指す．本報告では，レーザによって光励起した表面の物性変化を計測した結果についての報告を行う．

Journal

Keywords

Details 詳細情報について

  • CRID
    1390001205659123840
  • NII Article ID
    130006043771
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2017s.0_417
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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