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水内 伸哉 and 畝田 道雄 and 澁谷 和孝 and 中村 由夫 and 市川 大造 and 石川 憲一,活性ガス内包ナノバブル添加スラリー供給装置の開発とそれによるSiC基板の高能率CMPの試み,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2017,2017A,0,11-12,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205659602048,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017a.0_11