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川波多 裕司 and 桐野 宙治 and 張 宇 and 谷 泰弘,金属短繊維含有ラップ工具を用いたサファイア基板の研磨特性,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2015,2015S,0,995-996,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205659675648,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2015s.0_995