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小川 達也 and 村田 順二 and 谷 泰弘 and 兪 云程 and 張 宇,金属メッシュを用いたラッピング用研磨工具の開発,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2014,2014S,0,667-668,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205659822336,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2014s.0_667