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坂口 侑也 and 有馬 直人 and 松田 良信 and 篠原 正典,ICP支援DCマグネトロン放電におけるターゲット近傍での気体温度空間分布の半導体レーザー吸収分光計測,電気関係学会九州支部連合大会講演論文集,,電気・情報関係学会九州支部連合大会委員会,2014,2014,0,20-20,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205663953024,https://doi.org/10.11527/jceeek.2014.0_20