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石田 敬雄 and 岡田 昌久 and 土屋 哲男 and 村上 敬 and 中野 美紀,酸化チタン透明導電膜のRFマグネトロンスパッタリングによる作製と仕事関数評価,表面科学学術講演会要旨集,,公益社団法人 日本表面真空学会,2009,29,0,87-87,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205677611264,https://doi.org/10.14886/sssj2008.29.0.87.0