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新井 健太,真空技術に関するISO規格・JIS規格の制定状況,表面科学学術講演会要旨集,,公益社団法人 日本表面真空学会,2016,36,0,113,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205678275072,https://doi.org/10.14886/sssj2008.36.0_113