著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 鎌田 裕也 and 前田 拓也 and 福田 常男,RFマグネトロンスパッタリング法によるプラスチック基板へのITOの製膜,表面科学学術講演会要旨集,,公益社団法人 日本表面真空学会,2016,36,0,132,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205678296576,https://doi.org/10.14886/sssj2008.36.0_132