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林 徹文 and 園部 勝 and 加藤 雄二 and 安岡 学,イオンプレーティング法によるGZO薄膜の成膜,表面科学学術講演会要旨集,,公益社団法人 日本表面真空学会,2010,30,0,30-30,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205678726656,https://doi.org/10.14886/sssj2008.30.0.30.0