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栗田 一成 and 門野 武 and 奥山 亮輔 and 廣瀬 諒 and 柾田 亜由美 and 奥田 秀彦 and 古賀 祥泰,クラスターイオン注入によるCMOS センサのゲッタリング技術,表面科学学術講演会要旨集,,公益社団法人 日本表面真空学会,2017,37,0,53,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205678871424,https://doi.org/10.14886/sssj2008.37.0_53