著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
佐竹 うらら and 榎本 俊之,G1300104 シリコンウェーハ研磨加工における高平坦エッジの実現,年次大会,2424-2667,一般社団法人 日本機械学会,2015,2015,0,_G1300104-,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205843006336,https://doi.org/10.1299/jsmemecj.2015._g1300104-