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河口 大祐 and 関本 祐介 and 清田 大樹 and 原 佳祐 and 伊ヶ崎 泰則,内部吸収型レーザダイシングによる機械信頼性向上,年次大会,2424-2667,一般社団法人 日本機械学会,2017,2017,0,J2210202,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390001205843924352,https://doi.org/10.1299/jsmemecj.2017.j2210202